Übereinanderliegende luftgelagerte Stufenreihe

Produktmerkmale

Hochleistungsfähige, direkt angetriebene Luftschwebplattform mit hoher Dynamik, die durch umgebende Vorspannung und berührungsloses Design für hochpräzises Scannen ermöglicht. Diese speziell für Anwendungen und Detektion entwickelte Luftschwebplattform bietet Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich und wird von einem Linearmotor angetrieben. Sie kann als einachsiger Sensor eingesetzt werden.

Es kann einzeln oder in Kombination mit anderen Achsen zu einem Mehrachsensystem verwendet werden, das sich ideal für Anwendungen mit hohen Lasten und besonderen Produkteigenschaften eignet. Es nutzt das elastische Potenzial der Luft und dient als stützende Führungsschiene, um Reibungsfreiheit zwischen Gleitschiene und Gleittisch zu gewährleisten. Dadurch werden dynamische Eigenschaften und eine hohe Positioniergenauigkeit erzielt. Die luftgelagerte Plattform arbeitet mit positivem und negativem Druck. Durch die Anwendung großer Lasten mit ungleichmäßiger Gewichtsverteilung auf die luftgelagerten Führungsschienen wird die Luftzirkulation optimiert. Der normale Luftspalt und andere strukturelle Eigenschaften der Schiene werden so gewährleistet. Geeignet für die großflächige Inspektion optischer Linsen und die Wafer-Defekterkennung in der Halbleiterindustrie sowie für die Präzisionsfertigung und Verpackungsindustrie.

Spezifikationsparameter

PLAM-XY-Serie Overlay-Luftschwimmplattform
Parametertabelle
Plattformmodell	PLAM-XY-300-300
Effektiver Schlaganfall	300 mm × 300 mm
Positionierungsgenauigkeit	±0,3 μm
bidirektionale, wiederholbare Positioniergenauigkeit	±0,2 μm
Tonhöhe	±3 Bogensekunden
gieren	±3 Bogensekunden
rollen	±3 Bogensekunden
Geradheit	±1 μm
Ebenheit	±1 μm
Auflösung	1 nm
Maximale Beschleunigung	2 g
Höchstgeschwindigkeit	1000 mm/s
Maximale horizontale Belastung	60 kg
Maximale Radiallast	30 kg
Kontinuierlicher Schub	Oberer Schacht 78 N
	untere Welle 156 N
Maximalschub	Oberer Schacht 432 N
	untere Welle 864 N
Stabilität am Boden	±10 nm
Arbeitsdruck	5,5 bar (empfohlene trockene Luft, Wasser und Öl filtern, Staub auf unter 0,5 μm filtern)
Plattformqualität	75 kg
Plattformmaterial	Aluminium
mittlere Zeit zwischen Ausfällen	25000 Stunden

Wer ist Lingchen? Kann ich einem neuen Lieferanten vertrauen?

Suzhou Lingchen Acquisition Computer Co., Ltd. wurde 2006 gegründet und befindet sich in Suzhou, Provinz Jiangsu, China. Der Standort profitiert von einer verkehrsgünstigen Lage und einer attraktiven Umgebung. Unser Unternehmen erstreckt sich über eine Fläche von 25.000 Quadratmetern und beschäftigt 420 Mitarbeiter. Zu unseren Hauptprodukten zählen Industriecomputer, SPS-Systeme, Motion-Control-Karten, Remote-IO-Systeme und Linearmotoren. Darüber hinaus entwickeln wir kontinuierlich neue Produkte, um den unterschiedlichen Anforderungen unserer Kunden gerecht zu werden. Um unseren Kunden stets zufriedenstellende Produkte und Dienstleistungen zu bieten, haben wir ein modernes Qualitätsmanagementsystem nach internationalen Standards implementiert. Unser Unternehmen verfügt über Oszilloskope, Hoch- und Tieftemperaturprüfkammern sowie einen Motion-Control-Prüfstand, um die Produktqualität streng zu kontrollieren.