0102030405
単軸精密ねじプラットフォームシリーズ
PS165LS

| PS165LS仕様 単軸精密ねじプラットフォーム | |||||||
| パラメータ表 | |||||||
| プラットフォームモデル | PS165LS-50 | PS165LS-100 | PS165LS-150 | PS165LS-200 | PS165LS-300 | PS165LS-400 | |
| 効果的なストローク | 100mm | 200mm | 300mm | 400mm | 500mm | 600mm | |
| 位置決め精度 | 格子定規 | ±1 μm | ±1 μm | ±1.5μm | ±2 μm | ±2 μm | ±2 μm |
| ロータリーエンコーダ | ±1.5μm | ±1.5μm | ±1.5μm | ±2 μm | ±2 μm | ±2 μm | |
| 双方向繰り返し位置決め精度 | 格子定規 | ±0.3μm | ±0.35μm | ±0.4μm | ±0.45μm | ±0.5μm | ±0.6μm |
| ロータリーエンコーダ | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1.5μm | ±1.75 μm | ±2 μm | |
| ピッチ | 6秒角 | 7秒角 | 8秒角 | 9秒角 | 10秒角 | 11秒角 | |
| ヨー | 6秒角 | 7秒角 | 8秒角 | 9秒角 | 10秒角 | 11秒角 | |
| ロール | 6秒角 | 7秒角 | 8秒角 | 9秒角 | 10秒角 | 11秒角 | |
| まっすぐ | ±2 μm | ±2.5μm | ±3 μm | ±3.5μm | ±4 μm | ±5 μm | |
| 解決 | 格子定規 | 1nm、100nm、0.1μm | |||||
| ロータリーエンコーダ | 23ビット | ||||||
| 最高速度 | 300m/s | ||||||
| 最大荷重 | 水平配置 | 45kg | |||||
| 垂直配置 | 25kg | ||||||
| 最小ステップ量 | 100nm、1μm | ||||||
| プラットフォームの品質 | 7kg | 7.5kg | 8kg | 9kg | 10kg | 11kg | |
| プラットフォーム素材 | アルミニウム | ||||||
| 故障間隔平均時間 | 27000時間 | ||||||
PS115LS


| PS115LS仕様 単軸精密ねじプラットフォーム | |||||||
| パラメータ表 | |||||||
| プラットフォームモデル | PS115LS-50 | PS115LS-100 | PS115LS-150 | PS115LS-200 | PS115LS-250 | PS115LS-300 | |
| 効果的なストローク | 50mm | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm | |
| 位置決め精度 | 格子定規 | ±0.8μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1.5μm | ±1.5μm | ±1.5μm |
| ロータリーエンコーダ | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1.5μm | ±1.5μm | ±1.5μm | |
| 双方向繰り返し位置決め精度 | 格子定規 | ±0.3μm | ±0.3μm | ±0.35μm | ±0.4μm | ±0.45μm | ±0.5μm |
| ロータリーエンコーダ | ±0.6μm | ±0.8μm | ±0.8μm | ±1μm | ±1 μm | ±1 μm | |
| ピッチ | 4秒角 | 6秒角 | 7秒角 | 8秒角 | 9秒角 | 10秒角 | |
| ヨー | 4秒角 | 6秒角 | 7秒角 | 8秒角 | 9秒角 | 10秒角 | |
| ロール | 4秒角 | 6秒角 | 7秒角 | 8秒角 | 9秒角 | 10秒角 | |
| まっすぐ | ±2 μm | ±2.5μm | ±3 μm | ±3.5μm | ±4 μm | ±4.5μm | |
| 解決 | 格子定規 | 1nm、100nm、0.1μm | |||||
| ロータリーエンコーダ | 23ビット | ||||||
| 最大荷重 | 水平配置 | 40kg | |||||
| 垂直配置 | 20kg | ||||||
| 最小ステップ量 | 100nm、0.1μm | ||||||
| プラットフォームの品質 | 5.1kg | 5.7kg | 6.2 kg | 6.8kg | 7.4kg | 8.1kg | |
| プラットフォーム素材 | アルミニウム | ||||||
| 故障間隔平均時間 | 27000時間 | ||||||
PS280LS


PS225LS


PS190LS

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