平面賽道 XY 平台系列
平面賽道 XY 平台系列
| Plan-XY系列規格 單軸精密螺桿平台 | |||
| 參數表 | |||
| 平台模型 | PLM-Plane-XY-150 | PLM-Plane-XY-250 | PLM-Plane-XY-350 |
| 有效中風 | 150毫米×150毫米 | 250毫米×250毫米 | 350毫米×350毫米 |
| 定位精度 | ±0.3 μm | ±0.3 μm | ±0.3 μm |
| 雙向重複定位精度 | +0.15 一 | ±0.15 微米 | ±0.15 微米 |
| 瀝青 | 7角秒 | 9角秒 | 11 是 sec |
| 偏航 | 7角秒 | 9角秒 | 11 是 sec |
| 筆直 | ±1.5 μm | ±2 μm | ±2.5 μm |
| 解決 | 1奈米 | ||
| 最大加速度 | 2克 | ||
| 最高速度 | 2000 毫米/秒 | ||
| 最大水平荷載 | 45公斤 | 45公斤 | 45公斤 |
| 連續推力 | 上軸：153 牛頓 下軸：306 牛頓 | ||
| 峰值推力 | 上軸：864 牛頓；下軸：1728 牛頓 | ||
| 最小步數 | 20奈米 | ||
| 平台品質 | 30公斤 | 40公斤 | 50公斤 |
| 平台材料 | 鋁 | ||
| 平均故障間隔時間 | 27000 小時 | ||
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