H型平板氣浮平台 PlaneH系列
| H型扁平氣浮平台 PlaneH系列規格 | |
| 參數表 | |
| 平台模型 | PLM-PlaneH-XY-400 |
| 有效中風 | 400毫米×400毫米 |
| 定位精度 | ±0.3 μm |
| 雙向重複定位精度 | ±0.2 μm |
| 瀝青 | 2.5角秒 |
| 偏航 | 2.5角秒 |
| 筆直 | ±1.5微米 |
| 平坦 | ±1.5 μm |
| 解決 | 1奈米 |
| 最大加速度 | 0.5克 |
| 最高速度 | 500 毫米/秒 |
| 最大水平荷載 | 30公斤 |
| 連續推力 | 上軸：204牛頓 下軸：510牛頓 |
| 峰值推力 | 上軸：1152牛頓 下軸：2880牛頓 |
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