空心精密凝固定位平台 PM-X340-Y420-RB0.5

產品特點：

• 堆疊式佈局
• 緊湊型空心結構
• 採用高精度直線導軌
• 高動態性能，高精度
• Y軸由雙驅動直線馬達驅動
• 行程安排、規模和電纜均可客製化
• 它可以根據客戶需求進行評估和定制，例如配置、行程、負載、特殊結構等。

結構特徵：

• 採用緊湊的中空外結構，並由多層堆疊而成。
• 工作點位置降低，光柵回饋位置靠近工作面，這對於晶圓偵測至關重要。 Y軸由雙驅動直線馬達驅動。
• 可提供高推力、1米/秒的速度和精確定位

應用場景

該平台是一款中空結構的精密運動平台，具有大尺寸通孔和高動態性能，可滿足晶圓貼裝和檢測應用的需求。它也適用於其他高端製造業，例如CCD成像和LED封裝檢測。