IC載板LDL曝光氣浮平台
PDM-2K600-Z10-X160-Y1350-LDl
| IC載板LDL曝光氣浮平台 PDM-2K600-Z10-X160-Y1350-LDl 規格 | |||||||
| 參數表 | |||||||
| 平台模型 | PDM-2K600-Z10-X160-Y1350-LDI | ||||||
| 軸向 | X軸 | Y軸 | Z軸XY軸 在平台上 | 安裝在 Z軸橫樑 | Z 軸位於 K 軸上 | K1/K2軸 | 小 X 軸 |
| 旅行 | 160毫米 | 1350毫米 | 10毫米 | 10毫米 | 20毫米 | 800毫米 | 700毫米 |
| 形式 | - | - | - | 雙馬達雙光柵 | - | - | - |
| 載入 | ≥Z軸+10kg | ≥10公斤 | ≥10公斤 | ≥30公斤 | ≥3公斤 | 3（側掛式） +小Z軸 | 3（側掛式） |
| 編碼器分辨率 | 0.05μm | 0.05μm | - | 0.1微米 | 20微米 | 0.1微米 | 0.1微米 |
| 最小步驟 | 0.5微米 | 0.25微米 | 20微米 | 0.5微米 | 20微米 | 0.5微米 | 0.5微米 |
| 線性定位精度 | 1微米 | 1微米 | 6微米 | 5微米 | 6微米 | 4微米 | 4微米 |
| 雙向重複性 | 0.5微米 | 0.5微米 | 4微米 | 3微米 | 4微米 | 2微米 | 2微米 |
| 最高速度 | 300 毫米/秒 | 300 毫米/秒 | 15 毫米/秒 | - | - | 8微米 | 8微米 |
| 最大加速度 | 0.2 毫米/秒² | 2000 毫米/秒² | - | - | - | 8微米 | 8微米 |
| +0.5微米設定時間 位置閾值（秒） | - | - | - | - | - | ||
| 速度穩定性 | - | 小於0.5% （30-300毫米/秒） | - | - | - | - | - |
| 控制器 PSO | - | 解析度為0.05微米 | - | - | - | - | - |
| - | - | 脈衝輸出頻率 ≥2.4MHz | - | - | - | - | - |
| 雙向直線 | - | - | - | 3微米 | - | - | - |
| 水平直線度 | - | - | 8微米 | 8微米 | 8微米 | - | - |
| 垂直直線度 | - | - | 8微米 | 8微米 | 8微米 | - | - |
| 偏航 | - | - | 8角秒 | 2.5角秒 | 10角秒 | 6角秒 | 6角秒 |
| 瀝青 | - | - | 8角秒 | 8角秒 | 10角秒 | 8角秒 | 8角秒 |
| 卷 | - | - | - | - | - | 8角秒 | 8角秒 |
| 最高速度 | - | - | 15 毫米/秒 | 15 毫米/秒 | 15 毫米/秒 | 500 毫米/秒 | 500 毫米/秒 |
| 最大加速度 | - | - | - | - | - | 4000 毫米/秒² | 4000 毫米/秒² |
| Ki 的垂直性（正交性）， K2軸和Y軸 | - | - | - | - | - | 3角秒 | - |
| ±0.5微米的設定時間 位置閾值 | - | - | - | - | - | 在 500mm/s 的速度下，加速度為 0.5G 時，誤差小於 0.1/700mm。 在懸掛載重條件下，加速度超過 50000。 | |
| X軸和Y軸的垂直度 | - | - | - | - | - | - | 3角秒 |
| 與K軸的正交性 | - | - | - | - | 20角秒 | - | - |
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