平面賽道 XY 平台系列
| 大載重Z軸升降平台ZMS系列規格 | |
| 參數表 | |
| 平台模型 | PLM-ZMS-23 |
| 有效中風 | 23毫米 |
| 絕對定位精度 | ±2 μm |
| 雙向重複定位精度 | ±1 μm |
| 筆直 | ±2 μm |
| 解決 | 0.1微米 |
| 最大加速度 | 2克 |
| 最高速度 | 30 毫米/秒 |
| 最大水平荷載 | 60公斤 |
| 平台品質 | 50公斤 |
| 平台材料 | 鋁 |
| 平均故障間隔時間 | 27000 小時 |
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