LED燈芯檢測平台PDM-G5
| LED燈芯檢測平台 PDM-G5 規範 | |||||
| 參數表 | |||||
| 平台模型 | PDM-X500-Y400-Z10-ZKHY | ||||
| 軸向 | X0軸向 | Y0軸 | Y1軸向 | Z0軸向 | Z1軸向 |
| 載入 | 30公斤 | 12公斤 | 40公斤 | 30公斤 | 12公斤 |
| 定位精度 | +/-(3+L/250)μm | +/- 15 μm | +/- 10 μm | 12毫米 最低限度 | 12毫米 最低限度 |
| 旅行 | 2050 | 更新至1400毫米 | 194毫米 | - | - |
| 線性軸長 | 3140毫米 | 毫米 | 毫米 | - | - |
| 滑動桌長度 | 890毫米 | 230毫米 | 毫米 | - | - |
| 解決 | 5奈米或更優 | 0.1微米或更優 | 0.1微米或更優 | 0.2微米 | 0.2微米 |
| 加速度 | 0.5G（平均）@ 66.7% 混蛋 | 0.5G（平均）@ 66.7% 混蛋 | 0.25G（平均值）@ 66.7% 混蛋 | 50 毫米/秒² | 50 毫米/秒² |
| 速度 | 1000 毫米/秒（最大值） | 1000 毫米/秒（最大值） | 500 毫米/秒（最大值） | - | - |
| 速度波動 | 0.2% 最大值 @速度= 400毫米/秒 | - | - | - | - |
| 重複性 | +/-1 μm | +/-1 μm | +/-1 μm | +/-1 μm | +/-0.1 μm |
| 垂直直線度 | +/-15 μm | +/-10 μm | +/- 12 μm（滿量程） 範圍 | - | - |
| 水平直線度 | +/- 2 μm 200毫米±15微米 全系列 | +/-10 μm | +/- 10 μm | - | - |
| 設定時間 | 200毫秒 @ 0.2微米pp | 200 毫秒 @0.2μm pp | 200 毫秒 @0.2μm pp | - | - |
| X0Y0 正交 | 20μm pp | - | - | - | |
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