PCB板LDL曝光平台PSW-K1195-X900
-2Y1350-Z20
| PCB板LDL曝光平台 PSW-K1195-X900-2Y1350-Z20規格 | ||||
| 參數表 | ||||
| 平台模型 | PSW-K1195-X900-2Y1350-Z20 | |||
| 軸 | X軸 | Y1/Y2軸 | Z1/Z2軸 | K軸 |
| 旅行 | 900毫米 | 1350毫米 | 20毫米 | 1195毫米 |
| 載入 | 120公斤 | ≥ 55KG+Z軸重量 | ≥55公斤 | 3（側掛式） |
| 編碼器分辨率 | 0.1微米 | 0.1微米 | 20微米 | 0.1微米 |
| 最小步驟 | 0.5微米 | 0.5微米 | 0.5微米 | |
| 線性定位精度 | ±2.5 μm | ±2.5 μm | ±15 μm | ±2.5 μm |
| 雙向重複性 | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±8 μm | ±1.5 μm |
| 水平直線度 | ±8 μm | ±5 μm | ±5 μm | ±10 μm |
| 垂直直線度 | ±12 μm | ±12 μm | ±5 μm | ±10 μm |
| 偏航 | 5角秒 | 5角秒 | 20角秒 | ±15 μm |
| 瀝青 | 10角秒 | 10角秒 | X. 距離中心 300 毫米的點 在 Y 方向上，移動 20 毫米 沿 Z 軸方向，Z 方向最大誤差為 ± 30μm | - |
| 卷 | 10角秒 | - | - | ±10 μm |
| 偏航 | ±2.5弧秒/50毫米 | - | - | - |
| 瀝青 | ±5弧秒/50毫米 | - | - | - |
| Y1 Y2，X 垂直度 | 4.1角秒 （換算成微米單位的跳躍幅度為10微米） | - | - | - |
| Y1、Y2 平行 | - | ±3 μm | - | - |
| 最高速度 | 500 | 500 毫米/秒 | 15 毫米/秒 | 500 毫米/秒 |
| 最大加速度 | 5000 毫米/秒 | |||
| ±0.5微米的設定時間 位置閾值 | 在 500 毫米/秒的速度下，誤差小於 0.1/700 毫米。 0.5G加速度，50000 在懸掛載重條件下的加速度 | - | 在500mm/s、0.5G加速度、50000加速度和懸掛載重條件下 | |
| 速度穩定性 | - | - | - | |
| K軸和Y軸的垂直度 | - | - | - | 4.1角秒 （換算成微米單位的跳躍幅度為10微米） |
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