平面Z軸升降平台系列

這是一款垂直Z軸方向平台，採用線性馬達驅動，使用交叉滾輪導軌，定位精度可達奈米等級。其動態性能及定位精度俱佳，解析度為1nm，重複定位精度為+100nm，定位精度為+200nm等。平台為高精準度直驅式升降平台，動態性能高（空載截止頻率大於120Hz），橫向高度低，適用於空間有限的應用環境。平台可配備氣動天平，最大負載達15kg，可與曲面或線性軸組成多軸系統，原位穩定性為5nm（配備線性驅動器，並置於隔振實驗室環境中）。此平台適用於半導體產業中的光刻、檢測封裝、異形輪測量、基因定序等生物醫學領域的應用。