自平衡Z方向運動平台系列

奈米級定位精度，採用直線馬達驅動，交叉滾筒導軌，兼具動態性能與定位精度。空載截止頻率可達100Hz以上，解析度為1nm，重複定位精度為±100nm，單次定位精度為±250nm，以及其他產品特性。雙缸配重，動態性能高（截止頻率大於100Hz），交叉滾子導軌，配置靈活（可客製化不同行程），原位穩定性為3nm（配備直線驅動，在隔振實驗室環境下運作），以及其他結構特性。適用於通訊領域的光纖複合材料、半導體領域的圓形晶體缺陷檢測、生物醫學領域的基因定序、雷射微納加工等產業。