單軸氣浮平台系列

產品詳情

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產品特性

這是一款高性能直驅式氣浮平台，具有高動態性能，採用空氣環繞預載的非接觸式設計，專為高性能掃描和檢測應用而客製化。此氣浮平台定位精度達奈米級，由線性馬達驅動，可作為單軸感測器。

它可以單獨使用或與其他軸組合形成多軸系統，非常適合重載及其他產品特性的應用。利用空氣的彈性位能作為支撐導軌，實現滑軌與滑動台之間的零摩擦，動態性能和定位精度達到**級。氣浮平台採用正負壓設計，可使大體積載荷和重力分佈不均的氣浮導軌更好地保持空氣流通、正常的氣隙以及軌道的其他結構特性。
單軸氣浮平台系列適用於半導體領域的大規模光學透鏡檢測、晶圓缺陷檢測、精密製造和封裝產業。

規格參數

PLAM215系列氣浮單軸平台
參數表
平台模型	PLAM215-100	PLAM215-200	PLAM215-300	PLAM215-400	PLAM215-500
有效中風	100毫米	200毫米	300毫米	400毫米	500毫米
定位精度	±0.2 μm	±0.3 μm	±0.3 μm	±0.4 μm	±0.5 μm
雙向重複定位精度	±0.1 μm	±0.1 μm	±0.2 μm	±0.25μm	±0.3 μm
瀝青	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
偏航	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
卷	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
筆直	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 微米	±1.5 μm	±2 μm
平坦	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 微米	±1.5 μm	±2 μm
解決	1奈米
最大加速度	2克
最高速度	1000 毫米/秒
最大水平荷載	35公斤
最大徑向負荷	20公斤
連續推力	78 北
峰值推力	432 北
底部穩定性	±10 nm
工作壓力	5.5 巴（建議使用乾燥空氣，過濾水和油，過濾小於 0.5 微米的灰塵）
平台品質	19.1公斤	21.3公斤	23.5公斤	25.7公斤	27.9公斤
平台材料	鋁
平均故障間隔時間	25000小時

PLAM385系列氣浮單軸平台
參數表
平台模型	PLAM385-100	PLAM385-200	PLAM385-300	PLAM385-400	PLAM385-500
有效中風	100毫米	200毫米	300毫米	400毫米	500毫米
定位精度	±0.2 μm	±0.3 μm	±0.3 μm	±0.4 μm	±0.5 μm
雙向重複定位精度	±0.1 μm	±0.1 μm	±0.2 μm	±0.25μm	±0.3 μm
瀝青	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
偏航	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
卷	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
筆直	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 微米	±1.5 μm	±2 μm
平坦	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 微米	±1.5 μm	±2 μm
解決	1奈米
最大加速度	2克
最高速度	1000 毫米/秒
最大水平荷載	60公斤
最大徑向負荷	30公斤
連續推力	156 北
峰值推力	864 N
底部穩定性	±10 nm
工作壓力	5.5 巴（建議使用乾燥空氣，過濾水和油，過濾小於 0.5 微米的灰塵）
平台品質	40.9公斤	46.2公斤	51.5公斤	56.8公斤	62.1公斤
平台材料	鋁
平均故障間隔時間	25000小時

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