0102030405
單軸精密線性平台系列
PM115LS
| PLAM-XY系列疊層氣浮平台 | |||||
| 參數表 | |||||
| 平台模型 | PLAM-XY-300-300 | ||||
| 有效中風 | 300毫米*300毫米 | ||||
| 定位精度 | ±0.3 μm | ||||
| 雙向重複定位精度 | ±0.2 μm | ||||
| 瀝青 | ±3角秒 | ||||
| 偏航 | ±3角秒 | ||||
| 卷 | ±3角秒 | ||||
| 筆直 | ±1 μm | ||||
| 平坦 | ±1 μm | ||||
| 解決 | 1奈米 | ||||
| 最大加速度 | 2克 | ||||
| 最高速度 | 1000 毫米/秒 | ||||
| 最大水平荷載 | 60公斤 | ||||
| 最大徑向負荷 | 30公斤 | ||||
| 連續推力 | 上軸 78 牛頓 | ||||
| 下軸 156 牛頓 | |||||
| 峰值推力 | 上軸 432 牛頓 | ||||
| 下軸 864 牛頓 | |||||
| 底部穩定性 | ±10 nm | ||||
| 工作壓力 | 5.5 巴(建議使用乾燥空氣,過濾水和油,過濾小於 0.5 微米的灰塵) | ||||
| 平台品質 | 75公斤 | ||||
| 平台材料 | 鋁 | ||||
| 平均故障間隔時間 | 25000小時 | ||||

PM165LS
| PM165LS規格 單軸精密線性平台 | ||||||||
| 參數表 | ||||||||
| 平台模型 | PM165LS-100 | PM165LS-200 | PM165LS-300 | PM165LS-400 | PM165LS-500 | PM165LS-600 | PM165LS-800 | PM165LS-1000 |
| 有效中風 | 100毫米 | 200毫米 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | 600毫米 | 700毫米 | 800毫米 |
| 定位精度 | ±1 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±2 μm | ±2 μm | ±2 μm | ±2 μm |
| 雙向重複定位精度 | ±0.4 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm |
| 瀝青 | 6角秒 | 8.5角秒 | 12角秒 | 14.5角秒 | 16.5角秒 | 19角秒 | 21角秒 | 25角秒 |
| 偏航 | 6角秒 | 8.5角秒 | 12角秒 | 14.5角秒 | 16.5角秒 | 19角秒 | 21角秒 | 25角秒 |
| 卷 | 6角秒 | 8.5角秒 | 12角秒 | 14.5角秒 | 16.5角秒 | 19角秒 | 21角秒 | 25角秒 |
| 筆直 | ±2.5 μm | ±4 μm | ±6 μm | ±8 μm | ±9 μm | ±10 μm | ±12 μm | ±14 μm |
| 解決 | 100奈米 | |||||||
| 最大加速度 | 2米/秒 | |||||||
| 最高速度 | 2克 | |||||||
| 最大水平荷載 | 45公斤 | |||||||
| 最大徑向負荷 | 45公斤 | |||||||
| 連續推力 | 104 北 | |||||||
| 峰值推力 | 576 北 | |||||||
| 最小步數 | 75奈米 | |||||||
| 平台品質 | 8公斤 | 9.7公斤 | 11.4公斤 | 13.1公斤 | 15.5公斤 | 18.1公斤 | 20.4公斤 | 22.7公斤 |
| 平台材料 | 鋁 | |||||||
| 平均故障間隔時間 | 20000小時 | |||||||
PM190LS
| PM190LS規格 單軸精密線性平台 | ||||||||
| 參數表 | ||||||||
| 平台模型 | PM190LS-100 | PM190LS-200 | PM190LS-300 | PM190LS-400 | PM190LS-500 | PM190LS-600 | PM190LS-800 | PM190LS-1000 |
| 有效中風 | 100毫米 | 200毫米 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | 600毫米 | 700毫米 | 800毫米 |
| 定位精度 | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm |
| 雙向重複定位精度 | ±0.3 μm | ±0.4 μm | ±0.4 μm | ±0.4μm | ±0.4 μm | ±0.4 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm |
| 瀝青 | 6角秒 | 8角秒 | 10.5角秒 | 12角秒 | 14角秒 | 16角秒 | 20角秒 | 24角秒 |
| 偏航 | 6角秒 | 8角秒 | 10.5角秒 | 12角秒 | 14角秒 | 16角秒 | 20角秒 | 24角秒 |
| 卷 | 6角秒 | 8角秒 | 10.5角秒 | 12角秒 | 14角秒 | 16角秒 | 20角秒 | 24角秒 |
| 筆直 | ±1.5 μm | ±2.5 μm | ±3.5 μm | ±4.5 μm | ±5.5 μm | ±6.5 μm | ±8 μm | ±10 μm |
| 解決 | 100奈米 | |||||||
| 最大加速度 | 3克 | |||||||
| 最高速度 | 2米/秒 | |||||||
| 最大水平荷載 | 45公斤 | |||||||
| 最大徑向負荷 | 45公斤 | |||||||
| 連續推力 | 130 北 | |||||||
| 峰值推力 | 720 N | |||||||
| 最小步數 | 75奈米 | |||||||
| 平台品質 | 14.5公斤 | 16.8公斤 | 19.4公斤 | 21.8公斤 | 24.2公斤 | 26.6公斤 | 29.4公斤 | 32公斤 |
| 平台材料 | 鋁 | |||||||
| 平均故障間隔時間 | 27000小時 | |||||||
PM225LS
| PM225LS規格 單軸精密線性平台 | ||||||||
| 參數表 | ||||||||
| 平台模型 | PM225LS-100 | PM225LS-200 | PM225LS-300 | PM225LS-400 | PM225LS-500 | PM225LS-600 | PM225LS-800 | PM225LS-1000 |
| 有效中風 | 100毫米 | 200毫米 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | 600毫米 | 700毫米 | 800毫米 |
| 定位精度 | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | ±1.5 μm | ±1.5 μm |
| 雙向重複定位精度 | ±0.3 μm | ±0.4 μm | ±0.4 μm | ±0.4μm | ±0.4 μm | ±0.4 μm | ±0.5 μm | ±0.5 μm |
| 瀝青 | 6角秒 | 8角秒 | 10.5角秒 | 14角秒 | 15角秒 | 18角秒 | 20角秒 | 24角秒 |
| 偏航 | 6角秒 | 8角秒 | 10.5角秒 | 14角秒 | 15角秒 | 18角秒 | 20角秒 | 24角秒 |
| 卷 | 6角秒 | 8角秒 | 10.5角秒 | 14角秒 | 15角秒 | 18角秒 | 20角秒 | 24角秒 |
| 筆直 | ±2.5 μm | ±4 μm | ±4.5 μm | ±7.5 μm | ±8 μm | ±9 μm | ±10 μm | ±12 μm |
| 解決 | 100奈米 | |||||||
| 最大加速度 | 3克 | |||||||
| 最高速度 | 2米/秒 | |||||||
| 最大水平荷載 | 45公斤 | |||||||
| 最大徑向負荷 | 45公斤 | |||||||
| 連續推力 | 204 北 | |||||||
| 峰值推力 | 1152 N | |||||||
| 最小步數 | 100奈米 | |||||||
| 平台品質 | 14.5公斤 | 16.8公斤 | 19.4公斤 | 21.8公斤 | 24.2公斤 | 26.6公斤 | 29.4公斤 | 32公斤 |
| 平台材料 | 鋁 | |||||||
| 平均故障間隔時間 | 27000小時 | |||||||
PM280LS
| PM280LS規格 單軸精密線性平台 | ||||||
| 參數表 | ||||||
| 平台模型 | PM280LS-300 | PM280LS-400 | PM280LS-500 | PM280LS-600 | PM280LS-700 | PM280LS-800 |
| 有效中風 | 300毫米 | 400毫米 | 500毫米 | 600毫米 | 700毫米 | 800毫米 |
| 定位精度 | ±1 μm | ±1 μm | ±2 μm | ±2 μm | ±2 μm | ±2 μm |
| 雙向重複定位精度 | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±0.6 μm | ±0.6μm | ±0.6 μm | ±0.8 μm |
| 瀝青 | 12角秒 | 16角秒 | 18角秒 | 20角秒 | 22角秒 | 25角秒 |
| 偏航 | 12角秒 | 16角秒 | 18角秒 | 20角秒 | 22角秒 | 25角秒 |
| 卷 | 12角秒 | 16角秒 | 18角秒 | 20角秒 | 22角秒 | 25角秒 |
| 筆直 | ±4 μm | ±4 μm | ±6 μm | ±6.5 μm | ±7 μm | ±8 μm |
| 解決 | 100奈米 | |||||
| 最大加速度 | 3克 | |||||
| 最高速度 | 2米/秒 | |||||
| 最大水平荷載 | 150公斤 | |||||
| 最大徑向負荷 | 150公斤 | |||||
| 連續推力 | 255 北 | |||||
| 峰值推力 | 北緯1440度 | |||||
| 最小步數 | 200奈米 | |||||
| 平台品質 | 55公斤 | 60公斤 | 65公斤 | 71公斤 | 76公斤 | 81公斤 |
| 平台材料 | 鋁 | |||||
| 平均故障間隔時間 | 27000小時 | |||||
凌塵是誰?我可以信任這個新供應商嗎?
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