疊加式氣浮平台系列
產品特性
高性能直驅式氣浮平台，動態效能優異，採用空氣環繞預載的非接觸式設計，實現高效能掃描。此氣浮平台專為特定應用和檢測而設計，定位精度達奈米級，並由線性馬達驅動。它可用作單軸感測器。
它可以單獨使用或與其他軸組合成多軸系統，非常適合重載及其他產品特性的應用。利用空氣的彈性位能，可作為支撐導軌，實現滑軌與滑台之間的零摩擦，動態性能與定位精度達到**級。氣浮平台採用正負壓設計，可承受重力分佈不均的大體積負荷，更能確保氣浮導軌的空氣流通、正常氣隙及其他結構特性。適用於半導體領域的大批量光學鏡頭檢測和晶圓缺陷檢測，以及精密製造和封裝行業。
規格參數
| PLAM-XY系列疊層氣浮平台 | |||||
| 參數表 | |||||
| 平台模型 | PLAM-XY-300-300 | ||||
| 有效中風 | 300毫米*300毫米 | ||||
| 定位精度 | ±0.3 μm | ||||
| 雙向重複定位精度 | ±0.2 μm | ||||
| 瀝青 | ±3角秒 | ||||
| 偏航 | ±3角秒 | ||||
| 卷 | ±3角秒 | ||||
| 筆直 | ±1 μm | ||||
| 平坦 | ±1 μm | ||||
| 解決 | 1奈米 | ||||
| 最大加速度 | 2克 | ||||
| 最高速度 | 1000 毫米/秒 | ||||
| 最大水平荷載 | 60公斤 | ||||
| 最大徑向負荷 | 30公斤 | ||||
| 連續推力 | 上軸 78 牛頓 | ||||
| 下軸 156 牛頓 | |||||
| 峰值推力 | 上軸 432 牛頓 | ||||
| 下軸 864 牛頓 | |||||
| 底部穩定性 | ±10 nm | ||||
| 工作壓力 | 5.5 巴（建議使用乾燥空氣，過濾水和油，過濾小於 0.5 微米的灰塵） | ||||
| 平台品質 | 75公斤 | ||||
| 平台材料 | 鋁 | ||||
| 平均故障間隔時間 | 25000小時 | ||||
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