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晶圓切割平台 PDM-X400-Y600

產品特點:

  • 精密直線導軌
  • 超高直線度
  • 開放式結構,側向高度較低
  • 更優的幾何性能和更高的承載能力
  • 它可以根據客戶需求進行評估和定制,例如配置、行程、負載、特殊結構等。

 

結構特徵:

  • XY整合設計直驅平台
  • 水平直線度小於±1微米
  • 配備集中註油和金屬接地等輔助功能。

 

應用場景

適用於晶圓切割、晶圓檢測等各種半導體產業。

    晶圓切割平台 PDM-X400-Y600

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    晶圓切割平台
    PDM-X400-Y600規格
    參數表
    平台模型 PDM-X400-Y600
    軸向 X軸 Y軸
    有效中風 400毫米 600毫米
    重複性 ≤±1 μm
    基於補償的定位精度 ≤±1 μm
    水平直線度 ≤± 1 μm(中間 200 次筆畫內為 1.5 μm) ≤±1 μm
    垂直直線度 ≤±1.5μm ≤±1.5 μm
    XY軸之間的垂直度 ≤5μm
    最高速度 1000毫米/秒 300毫米/秒
    最大加速度 2克 0.5克
    載入 25公斤
    線長 拖鏈外側3米
    馬達參數
    冷卻方法 自冷卻 水冷
    連續推力 北緯722.6度 北緯1159.3度
    峰值推力 北緯1610.5度
    力常數±10% 153.0 牛頓/臂
    反向電動勢常數+10% 124.9 Vpeak/(m/s)
    馬達常數 @ 25 58.2 北/平方(西)
    相間電阻 @ 25 4.6 歐姆
    相間電感±30% 116.0毫亨
    持續電流 4.8 武器 8.2 武器
    峰值電流 14.4 武器
    連續熱功率 204.9 瓦 597.9 西
    熱耗散常數 2.8瓦/攝氏度 8.0瓦/攝氏度
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