晶圓切割平台 PDM-X400-Y600

| 晶圓切割平台 PDM-X400-Y600規格 | ||
| 參數表 | ||
| 平台模型 | PDM-X400-Y600 | |
| 軸向 | X軸 | Y軸 |
| 有效中風 | 400毫米 | 600毫米 |
| 重複性 | ≤±1 μm | |
| 基於補償的定位精度 | ≤±1 μm | |
| 水平直線度 | ≤± 1 μm(中間 200 次筆畫內為 1.5 μm) | ≤±1 μm |
| 垂直直線度 | ≤±1.5μm | ≤±1.5 μm |
| XY軸之間的垂直度 | ≤5μm | |
| 最高速度 | 1000毫米/秒 | 300毫米/秒 |
| 最大加速度 | 2克 | 0.5克 |
| 載入 | 25公斤 | |
| 線長 | 拖鏈外側3米 | |
| 馬達參數 | ||
| 冷卻方法 | 自冷卻 | 水冷 |
| 連續推力 | 北緯722.6度 | 北緯1159.3度 |
| 峰值推力 | 北緯1610.5度 | |
| 力常數±10% | 153.0 牛頓/臂 | |
| 反向電動勢常數+10% | 124.9 Vpeak/(m/s) | |
| 馬達常數 @ 25 | 58.2 北/平方(西) | |
| 相間電阻 @ 25 | 4.6 歐姆 | |
| 相間電感±30% | 116.0毫亨 | |
| 持續電流 | 4.8 武器 | 8.2 武器 |
| 峰值電流 | 14.4 武器 | |
| 連續熱功率 | 204.9 瓦 | 597.9 西 |
| 熱耗散常數 | 2.8瓦/攝氏度 | 8.0瓦/攝氏度 |
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