平面賽道 XY 平台系列
| ZTT平面微調平台 ZTT系列規格 | |||
| 參數表 | |||
| 平台模型 | PLM-ZTT-4 | ||
| 軸向 | 和 | 我X | θY |
| 有效中風 | 4 | 2 | 2 |
| 絕對定位精度 | ±0.5微米 | ||
| 重複性 | ±0.25微米 | ||
| 瀝青 | ±10 角秒 | ±1.5 角秒 | ±1.5 角秒 |
| 偏航 | ±10 角秒 | ||
| 筆直 | ±1.5 μm | ||
| 平坦 | ±1.5 μm | ||
| 最高速度 | 1克 | ||
| 最大加速度 | 200 公尺/秒 | ||
| 最小步數 | 100牛頓米 | 1角秒 | 1角秒 |
| 最大負載 | 10公斤 | ||
| 平台品質 | 6.5公斤 | ||
| 平台材料 | 鋁 | ||
| 平均故障間隔時間 | 27000 小時 | ||
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