H型平板气浮平台 PlaneH系列
| H形扁平气浮平台 PlaneH系列规格 | |
| 参数表 | |
| 平台模型 | PLM-PlaneH-XY-400 |
| 有效中风 | 400毫米×400毫米 |
| 定位精度 | ±0.3 μm |
| 双向重复定位精度 | ±0.2 μm |
| 沥青 | 2.5角秒 |
| 偏航 | 2.5角秒 |
| 笔直 | ±1.5微米 |
| 平坦 | ±1.5 μm |
| 解决 | 1纳米 |
| 最大加速度 | 0.5克 |
| 最高速度 | 500 毫米/秒 |
| 最大水平荷载 | 30公斤 |
| 连续推力 | 上轴：204牛顿 下轴：510牛顿 |
| 峰值推力 | 上轴：1152牛顿 下轴：2880牛顿 |
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