空心精密凝固定位平台 PM-X340-Y420-RB0.5

产品特点：

• 堆叠式布局
• 紧凑型空心结构
• 采用高精度直线导轨
• 高动态性能，高精度
• Y轴由双驱动直线电机驱动
• 行程安排、规模和电缆均可定制
• 它可以根据客户需求进行评估和定制，例如配置、行程、载荷、特殊结构等。

结构特征：

• 采用紧凑的中空外结构，并由多层堆叠而成。
• 工作点位置降低，光栅反馈位置靠近工作面，这对于晶圆检测至关重要。Y轴由双驱动直线电机驱动。
• 可提供高推力、1米/秒的速度和精确定位

应用场景

该平台是一款中空结构的精密运动平台，具有大尺寸通孔和高动态性能，可满足晶圆贴装和检测应用的需求。它也适用于其他高端制造行业，例如CCD成像和LED封装检测。