IC载板LDL曝光气浮平台
PDM-2K600-Z10-X160-Y1350-LDl
| IC载板LDL曝光气浮平台 PDM-2K600-Z10-X160-Y1350-LDl 规格 | |||||||
| 参数表 | |||||||
| 平台模型 | PDM-2K600-Z10-X160-Y1350-LDI | ||||||
| 轴向 | X轴 | Y轴 | Z轴XY轴 在平台上 | 安装在 Z轴横梁 | Z 轴位于 K 轴上 | K1/K2轴 | 小 X 轴 |
| 旅行 | 160毫米 | 1350毫米 | 10毫米 | 10毫米 | 20毫米 | 800毫米 | 700毫米 |
| 形式 | - | - | - | 双电机双光栅 | - | - | - |
| 加载 | ≥Z轴+10kg | ≥10公斤 | ≥10公斤 | ≥30公斤 | ≥3公斤 | 3（侧挂式） +小Z轴 | 3（侧挂式） |
| 编码器分辨率 | 0.05μm | 0.05μm | - | 0.1微米 | 20微米 | 0.1微米 | 0.1微米 |
| 最小步骤 | 0.5微米 | 0.25微米 | 20微米 | 0.5微米 | 20微米 | 0.5微米 | 0.5微米 |
| 线性定位精度 | 1微米 | 1微米 | 6微米 | 5微米 | 6微米 | 4微米 | 4微米 |
| 双向重复性 | 0.5微米 | 0.5微米 | 4微米 | 3微米 | 4微米 | 2微米 | 2微米 |
| 最高速度 | 300 毫米/秒 | 300 毫米/秒 | 15 毫米/秒 | - | - | 8微米 | 8微米 |
| 最大加速度 | 0.2 毫米/秒² | 2000 毫米/秒² | - | - | - | 8微米 | 8微米 |
| +0.5微米设置时间 位置阈值（秒） | - | - | - | - | - | ||
| 速度稳定性 | - | 小于0.5% （30-300毫米/秒） | - | - | - | - | - |
| 控制器 PSO | - | 分辨率为0.05微米 | - | - | - | - | - |
| - | - | 脉冲输出频率 ≥2.4MHz | - | - | - | - | - |
| 双向直线 | - | - | - | 3微米 | - | - | - |
| 水平直线度 | - | - | 8微米 | 8微米 | 8微米 | - | - |
| 垂直直线度 | - | - | 8微米 | 8微米 | 8微米 | - | - |
| 偏航 | - | - | 8角秒 | 2.5角秒 | 10角秒 | 6角秒 | 6角秒 |
| 沥青 | - | - | 8角秒 | 8角秒 | 10角秒 | 8角秒 | 8角秒 |
| 卷 | - | - | - | - | - | 8角秒 | 8角秒 |
| 最高速度 | - | - | 15 毫米/秒 | 15 毫米/秒 | 15 毫米/秒 | 500 毫米/秒 | 500 毫米/秒 |
| 最大加速度 | - | - | - | - | - | 4000 毫米/秒² | 4000 毫米/秒² |
| Ki 的垂直性（正交性）， K2轴和Y轴 | - | - | - | - | - | 3角秒 | - |
| ±0.5微米的设定时间 位置阈值 | - | - | - | - | - | 在 500mm/s 的速度下，加速度为 0.5G 时，误差小于 0.1/700mm。 在悬挂载荷条件下，加速度超过 50000。 | |
| X轴和Y轴的垂直度 | - | - | - | - | - | - | 3角秒 |
| 与K轴的正交性 | - | - | - | - | 20角秒 | - | - |
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