平面赛道 XY 平台系列
| 大载荷Z轴升降平台ZMS系列规格 | |
| 参数表 | |
| 平台模型 | PLM-ZMS-23 |
| 有效中风 | 23毫米 |
| 绝对定位精度 | ±2 μm |
| 双向重复定位精度 | ±1 μm |
| 笔直 | ±2 μm |
| 解决 | 0.1微米 |
| 最大加速度 | 2克 |
| 最高速度 | 30 毫米/秒 |
| 最大水平荷载 | 60公斤 |
| 平台质量 | 50公斤 |
| 平台材料 | 铝 |
| 平均故障间隔时间 | 27000 小时 |
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