PCB板LDL曝光平台PSW-K1195-X900
-2Y1350-Z20
| PCB板LDL曝光平台 PSW-K1195-X900-2Y1350-Z20规格 | ||||
| 参数表 | ||||
| 平台模型 | PSW-K1195-X900-2Y1350-Z20 | |||
| 轴 | X轴 | Y1/Y2轴 | Z1/Z2轴 | K轴 |
| 旅行 | 900毫米 | 1350毫米 | 20毫米 | 1195毫米 |
| 加载 | 120公斤 | ≥ 55KG+Z轴重量 | ≥55公斤 | 3（侧挂式） |
| 编码器分辨率 | 0.1微米 | 0.1微米 | 20微米 | 0.1微米 |
| 最小步骤 | 0.5微米 | 0.5微米 | 0.5微米 | |
| 线性定位精度 | ±2.5 μm | ±2.5 μm | ±15 μm | ±2.5 μm |
| 双向重复性 | ±1.5 μm | ±1.5 μm | ±8 μm | ±1.5 μm |
| 水平直线度 | ±8 μm | ±5 μm | ±5 μm | ±10 μm |
| 垂直直线度 | ±12 μm | ±12 μm | ±5 μm | ±10 μm |
| 偏航 | 5角秒 | 5角秒 | 20角秒 | ±15 μm |
| 沥青 | 10角秒 | 10角秒 | X. 距离中心 300 毫米的点 在 Y 方向上，移动 20 毫米 沿 Z 轴方向，Z 方向最大误差为 ± 30μm | - |
| 卷 | 10角秒 | - | - | ±10 μm |
| 偏航 | ±2.5弧秒/50毫米 | - | - | - |
| 沥青 | ±5弧秒/50毫米 | - | - | - |
| Y1 Y2，X 垂直度 | 4.1角秒 （换算成微米单位的跳跃幅度为10微米） | - | - | - |
| Y1、Y2 平行 | - | ±3 μm | - | - |
| 最高速度 | 500 | 500 毫米/秒 | 15 毫米/秒 | 500 毫米/秒 |
| 最大加速度 | 5000 毫米/秒 | |||
| ±0.5微米的设定时间 位置阈值 | 在 500 毫米/秒的速度下，误差小于 0.1/700 毫米。 0.5G加速度，50000 在悬挂载荷条件下的加速度 | - | 在500mm/s、0.5G加速度、50000加速度和悬挂载荷条件下 | |
| 速度稳定性 | - | - | - | |
| K轴和Y轴的垂直度 | - | - | - | 4.1角秒 （换算成微米单位的跳跃幅度为10微米） |
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