平面Z轴升降平台系列

这是一款垂直Z轴方向平台，采用线性电机驱动，使用交叉滚子导轨，定位精度可达纳米级。其动态性能和定位精度俱佳，分辨率为1nm，重复定位精度为+100nm，定位精度为+200nm等。该平台为高精度直驱式升降平台，动态性能高（空载截止频率大于120Hz），横向高度低，适用于空间有限的应用环境。平台可配备气动天平，最大负载达15kg，可与曲面或线性轴组成多轴系统，原位稳定性为5nm（配备线性驱动器，并置于隔振实验室环境中）。该平台适用于半导体行业中的光刻、检测封装、异形轮测量、基因测序等生物医学领域的应用。