自平衡Z方向运动平台系列

纳米级定位精度，采用直线电机驱动，交叉滚子导轨，兼具动态性能和定位精度。空载截止频率可达100Hz以上，分辨率为1nm，重复定位精度为±100nm，单次定位精度为±250nm，以及其他产品特性。双缸配重，动态性能高（截止频率大于100Hz），交叉滚子导轨，配置灵活（可定制不同行程），原位稳定性达3nm（配备直线驱动，在隔振实验室环境下运行），以及其他结构特点。适用于通信领域的光纤复合材料、半导体领域的圆形晶体缺陷检测、生物医学领域的基因测序以及激光微纳加工等行业。