单轴气浮平台系列

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产品特性

这是一款高性能直驱式气浮平台，具有高动态性能，采用空气环绕预加载的非接触式设计，专为高性能扫描和检测应用而定制。该气浮平台定位精度达纳米级，由线性电机驱动，可用作单轴传感器。

它可以单独使用或与其他轴组合形成多轴系统，非常适用于重载及其他产品特性的应用。利用空气的弹性势能作为支撑导轨，实现滑轨与滑动台之间的零摩擦，动态性能和定位精度达到**级。气浮平台采用正负压设计，可使大体积载荷和重力分布不均的气浮导轨更好地保持空气流通、正常的气隙以及轨道的其他结构特性。
单轴气浮平台系列适用于半导体领域的大规模光学透镜检测、晶圆缺陷检测、精密制造和封装行业。

规格参数

PLAM215系列气浮单轴平台
参数表
平台模型	PLAM215-100	PLAM215-200	PLAM215-300	PLAM215-400	PLAM215-500
有效中风	100毫米	200毫米	300毫米	400毫米	500毫米
定位精度	±0.2 μm	±0.3 μm	±0.3 μm	±0.4 μm	±0.5 μm
双向重复定位精度	±0.1 μm	±0.1 μm	±0.2 μm	±0.25μm	±0.3 μm
沥青	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
偏航	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
卷	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
笔直	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 微米	±1.5 μm	±2 μm
平坦	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 微米	±1.5 μm	±2 μm
解决	1纳米
最大加速度	2克
最高速度	1000 毫米/秒
最大水平荷载	35公斤
最大径向载荷	20公斤
连续推力	78 北
峰值推力	432 北
底部稳定性	±10 nm
工作压力	5.5 巴（建议使用干燥空气，过滤水和油，过滤小于 0.5 微米的灰尘）
平台质量	19.1公斤	21.3公斤	23.5公斤	25.7公斤	27.9公斤
平台材料	铝
平均故障间隔时间	25000小时

PLAM385系列气浮单轴平台
参数表
平台模型	PLAM385-100	PLAM385-200	PLAM385-300	PLAM385-400	PLAM385-500
有效中风	100毫米	200毫米	300毫米	400毫米	500毫米
定位精度	±0.2 μm	±0.3 μm	±0.3 μm	±0.4 μm	±0.5 μm
双向重复定位精度	±0.1 μm	±0.1 μm	±0.2 μm	±0.25μm	±0.3 μm
沥青	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
偏航	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
卷	±1.5 角秒	±2.5 角秒	±3角秒	±4角秒	±5角秒
笔直	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 微米	±1.5 μm	±2 μm
平坦	±0.5 μm	±0.6 μm	±0.75 微米	±1.5 μm	±2 μm
解决	1纳米
最大加速度	2克
最高速度	1000 毫米/秒
最大水平荷载	60公斤
最大径向载荷	30公斤
连续推力	156 北
峰值推力	864 N
底部稳定性	±10 nm
工作压力	5.5 巴（建议使用干燥空气，过滤水和油，过滤小于 0.5 微米的灰尘）
平台质量	40.9公斤	46.2公斤	51.5公斤	56.8公斤	62.1公斤
平台材料	铝
平均故障间隔时间	25000小时

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