叠加式气浮平台系列
产品特性
高性能直驱式气浮平台，动态性能优异，采用空气环绕预加载的非接触式设计，实现高性能扫描。该气浮平台专为特定应用和检测而设计，定位精度达纳米级，并由线性电机驱动。它可用作单轴传感器。
它可以单独使用或与其他轴组合成多轴系统，非常适用于重载及其他产品特性的应用。利用空气的弹性势能，可作为支撑导轨，实现滑轨与滑台之间的零摩擦，动态性能和定位精度达到**级。气浮平台采用正负压设计，可承受重力分布不均的大体积载荷，更好地保证气浮导轨的空气流通、正常气隙及其他结构特性。适用于半导体领域的大批量光学镜头检测和晶圆缺陷检测，以及精密制造和封装行业。
规格参数
| PLAM-XY系列叠层气浮平台 | |||||
| 参数表 | |||||
| 平台模型 | PLAM-XY-300-300 | ||||
| 有效中风 | 300毫米*300毫米 | ||||
| 定位精度 | ±0.3 μm | ||||
| 双向重复定位精度 | ±0.2 μm | ||||
| 沥青 | ±3角秒 | ||||
| 偏航 | ±3角秒 | ||||
| 卷 | ±3角秒 | ||||
| 笔直 | ±1 μm | ||||
| 平坦 | ±1 μm | ||||
| 解决 | 1纳米 | ||||
| 最大加速度 | 2克 | ||||
| 最高速度 | 1000 毫米/秒 | ||||
| 最大水平荷载 | 60公斤 | ||||
| 最大径向载荷 | 30公斤 | ||||
| 连续推力 | 上轴 78 牛顿 | ||||
| 下轴 156 牛顿 | |||||
| 峰值推力 | 上轴 432 牛顿 | ||||
| 下轴 864 牛顿 | |||||
| 底部稳定性 | ±10 nm | ||||
| 工作压力 | 5.5 巴（建议使用干燥空气，过滤水和油，过滤小于 0.5 微米的灰尘） | ||||
| 平台质量 | 75公斤 | ||||
| 平台材料 | 铝 | ||||
| 平均故障间隔时间 | 25000小时 | ||||
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