晶圆切割平台 PDM-X400-Y600
| 晶圆切割平台 PDM-X400-Y600规格 | ||
| 参数表 | ||
| 平台模型 | PDM-X400-Y600 | |
| 轴向 | X轴 | Y轴 |
| 有效中风 | 400毫米 | 600毫米 |
| 重复性 | ≤±1 μm | |
| 基于补偿的定位精度 | ≤±1 μm | |
| 水平直线度 | ≤± 1 μm（中间 200 次笔画内为 1.5 μm） | ≤±1 μm |
| 垂直直线度 | ≤±1.5μm | ≤±1.5 μm |
| XY轴之间的垂直度 | ≤5μm | |
| 最高速度 | 1000毫米/秒 | 300毫米/秒 |
| 最大加速度 | 2克 | 0.5克 |
| 加载 | 25公斤 | |
| 线长 | 拖链外侧3米 | |
| 电机参数 | ||
| 冷却方法 | 自冷却 | 水冷 |
| 连续推力 | 北纬722.6度 | 北纬1159.3度 |
| 峰值推力 | 北纬1610.5度 | |
| 力常数±10% | 153.0 牛顿/臂 | |
| 反向电动势常数+10% | 124.9 Vpeak/(m/s) | |
| 电机常数 @ 25 | 58.2 北/平方（西） | |
| 相间电阻 @ 25 | 4.6 欧姆 | |
| 相间电感±30% | 116.0毫亨 | |
| 持续电流 | 4.8 武器 | 8.2 武器 |
| 峰值电流 | 14.4 武器 | |
| 连续热功率 | 204.9 瓦 | 597.9 西 |
| 热耗散常数 | 2.8瓦/摄氏度 | 8.0瓦/摄氏度 |
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